检测设备，半导体制造必不可少的环节。 纳米级高端半导体精密检测平台：晶圆检测神器 这款纳米级高端半导体精密运动平台：能达到定位精度0.2μm，重复定位精度±15nm，应用于半导体晶圆检测、晶圆切片等环节，为复杂的半导体晶圆实现高精度、......